機器消耗品市場

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商品情報

　　

カート

商品NO	1850	商品名	マルチ成膜装置	メーカー	（株）真空デバイス	管理	（株）真空デバイス
		型式	VES-10	価格		商品問合せ
特徴	この装置は、2つの独立したチャンバーを持ち、それぞれカーボン蒸着、マグネトロンスパッタ、親水処理の機能を有する装置です。１台で、当社製ＶＣ－１００Ｓ、ＭＳＰ－１Ｓ、ＰＩＢ－１０，３機種の性能を搭載しております。外付けロータリーポンプ排気で２系統の排気管切換を行っております。また、それぞれのチャンバーは真空排気と大気解放を独立して行うことが出来、チャンバーは真空の保持が可能です。					カタログ
仕様	主な製品仕様電源：ＡＣ１００Ｖ(単相１００Ｖ１５Ａ)１口装置サイズ：幅４００ｍｍ、奥行３６０ｍｍ、ベース高さ２８０ｍｍＣＡＲＢＯＮチャンバー高さ　＋１８５ｍｍＩＯＮチャンバー高さ　＋１０１ｍｍ装置重量：２９ｋｇロータリーポンプ：排気速度５０ℓ／ｍｉｎ重量：１４．６ｋｇカーボン蒸着側仕様試料室サイズ：内径１２０ｍｍ、高さ１４０ｍｍ（硬質ガラス）蒸着源―試料台間隔：４５ｍｍ~７５ｍｍの範囲で調整可能試料ステージサイズ： Φ１００ｍｍ搭載可能試料サイズ： Φ９８ｍｍ、最大試料高さ４０ｍｍ蒸着電源：ＢＡＫＥ、ＯＵＴＧＡＳ、ＥＶＡＰＯ．各固定電圧３段階切換、最適電圧にプリセットイオンチャンバー側仕様試料室サイズ：内径１２０ｍｍ、高さ６５ｍｍ（硬質ガラス）電極―試料台間隔：３５ｍｍ固定試料台サイズ： Φ５０ｍｍ（フローティング方式）スパッタターゲット電極：永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極： Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍＰｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ａｇスパッタ電源：ＤＣ５００Ｖ、０~５０ｍＡ（可変抵抗による調整）親水処理用電極： Φ５０ｍｍ、ＳＵＳ製ターゲット親水処理用電源：ＳＯＦＴ：４５０Ｖ、１０~２０ｍＡＨＡＲＤ：５５０Ｖ、２０~３０ｍＡ（任意で切換可能）
備考				管理NO

	３台の装置が１つになりました

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